导航：安全管理网>> 安全论文>> 电力安全论文>>正文

基于HAZOP的集成电路安全生产风险评估

文档作者：杨振，李世军，刘忠哲文档来源：北京智芯微电子科技有限公司		点击数：	更新时间： 2025年09月05日
下载地址：点击这里	文件大小： 2.19 MB 共2页	文档格式： PDF	下载点数： 1 点（VIP免费）

全屏查看

内容预览 [文件共2页]

本文件共2页，如需编辑使用，请下载。

注：预览效果可能会出现部分文字乱码（如口口口）、内容显示不全等问题，下载是正常的。

	文件大小：2.19 MB 共2页文件格式：PDF 下载点数：1 点（VIP会员免费）

上一篇：基于电路撕裂的模拟电路噪声分析

文本预览

仅提取页面文字内容，供快速阅读使用。

电工技术系统解决方案
基于HAZOP的集成电 风险评估
杨振，李世军，刘忠哲
(北京智芯微电子科技有限公司，北京100096)
摘 要：文章采用HAZOP风险评估方法,对集成电路生产过程中的安全性进行评估。重点介绍评估过程,并提出注
事项。
关键词：HAZOP；集成电路；安全生产；风险评估
HAZOP-based Risk Assessment of Safety Production of Integrated Circuit
YANG Zhen, LI SHijun, LIU Zhongzhe
(Beijing Smartchip Microelectronics Technology Co. , Ltd. , Beijing 100096 , China)
Abstract： ThearticleusestheHAZOPriskassessmentmethodtoevaluatethesafetyoftheintegratedcircuitgeneration
processHFocusontheevaluationprocessandproposeconsiderationsH
Key words: HAZOP&amp;amp; integrated circuit； safety production；
0引言
通常情况下， 电路进行生产是一个极为 的
工艺，其中涵盖了 、去胶等多道工序，每一道工序都
需要进行 ，并且需要 多化学物品。 ,
电力进行生产的过程中， 存在着较大的风
险。无论是在生产过程中所使用的硬件设备，还是相应的
学药品，都需要对其进行综合式的评估。与此同时
电路进行生产过程中，所要求的 设备
的辅助设备都需要 较高的自动 ，出现任何形
式的偏差都会产生严重的后果。
1常用的安全生产评估方法
安全生产评估主要指从安全的 出发， 个系统
存在的 进行有效 ％与此同时
结果进行系统的评价，能够对安全生产起到指 :
。对于 来说，进行 的安全评估主要是从五个方
为施工人员、机器、施工材料、施工方法，
施工环境。 能够引发事故的 进行详细分析，
同时对能够 的 措施进行讨论，最后还需
要对一些不可预料的 进行 ％
截止到目前，安全 估 类繁多，其中包括
按 类、按定性分类 按逻辑方式分类等。对
于每 不同的 类 是 多的 且每一
估的 都 其自身的特点。就目前情况来看，
较为广泛的 了 HAZOP、SCL、PHA、
FMEA、ETA、FTA、CAM 等。
的HAZOP 可以称之为危险性和操作
收稿日期：201-051
riskassessment
性研究E %在生产过程中，其能够对工艺状态所出现的偏差
变化进行查找，随后进行原 ,并且找出
同时预测所能够出现的一系列结果％ 的根本目的是为
了能够更好地对安全性还 性进行全面的 ％其不仅
能够 一 的偏 设 偏 进行 效 !还能够找
出原 ％目前HAZOP 国家安监 可
并且大 。对于集成电路生产过程中的 性 多
样性，采用HAZOP 常好的匹配性％
2基于HAZOP风险评估过程
生产进行 HAZOP 估的过 中!需要 全
的生产过 进行系统、 全 的 !不能 过 一个偏
设计的意图， 其出现的原 产生的后果，从
的 措施，大体可以分为以下几个步骤25* %
(1) 按照生产过程中所需要运用到的设备 原料对
生产过程进行划分，将其划分为若干个节点，随 于每
一个节点进行详细的讨论％
(2) 按照每一个节点，将HAZOP引导词和生产参数
进行有效的结合，对可能出现的一系列偏差进行假设，同
时对有可能出现失误的模式进行分析％ HAZOP引导词如
1 ,可能出现的 模式 2%
表1 HAZOP引导词
Tab. 1 HAZOP guide words
引出现的偏离
More than 在系统中，有较多不洁净的物质存在
Pat of 存在相应的组建缺失等现象
Less of 与实际情况相比较，温度等参数较低
Reverse 出现了倒流的现象
None, No, Not 有行流动
174 I www.chinaet.net | 中国电工网
系统解决方案电工技术
表2可能出现的失误模式
Tab2 Potentialfailurepaterns
引导词
None，No，Not Part of Less of Reverse More than
能量无 / 不足/ /
液位无 / 低/ /
反应无 不能充分反应速率较低逆向反应/
混合无 浓度出错合/ 存在污染
压力/ 较低/ /
流量无/ 较低向存在污染
(3) 对于 一 模式都需要对其出现的原因进
行详细 ，其中 、 人为等 的分
析。
(4) 对每一 模式进行评估，估算出其可能会出
现的结果 的 ％
(5) 模式进行评估的过程中，需要注意的是，
不仅要对所存在的 出现的结果进行分析，同时还
需要对安全管控的措施进行详细的探讨，其中 设立安
全警 过压保护等。
(6) 前面五个步骤后，还需要对每一个安全失
效模式进行定量的。在进行定量 的过 中，常
常会从以下三个 来进行考虑， 为偏 出现事
故的严重性(S)以及出现偏离的 (F)还有出现 的几
率(P)。对这三个参数进行整理，从而计算出其风险等级
R = SXFXP%
(7) 按 等级， 替代相应的风险因素，
从而使得 等级降至最低。
3使用HAZOP方法注意事项
使用HAZOP方法进行安全风险评估时候，需要注
意以下几个 ％
(1)在进行安全风险评估的过程中，需要建立5〜7人
(上接第115页)
prediction usingstatespace modeland patern-based approach[
J]. Dissertations &amp;amp; Theses - Grad works， 2014.
[9] M Lineesh， K Minu， C J John. Analysis of nons tat ionary
nonlineareconomictimeseriesofgoldprice： Acomparative
study [J], in International Mathematical Forum， 2010，5
(34)：1673-1683
[10] S Panigrahi， Y Karali， H Behera. Time series forecasting
的设计小组，其中 系统的设计者以及相应的专家，从
为后续的 提供 的 ％
(2) 需要 的目的 范围。 大多数情况
下，安全 估主要是为了能够更好地 源进行查
找，从而能够确保整个系统的安全运行。
(3) 需要 的资料进行有效 ，其中包括设计
等。
(4) 在对系统进行评估的过程中，需要运用多种方式
的 ，从 小组 的每一 员的智慧进行开发,
充分提出 意见。
(5) 在绝大多数情况下， HZAOP 进行系统
的安全 估，并不能够对全部的 进行 ，对于
特殊意义的 ，需要 特点的评
估 进行评估。
4结语
在集成电路生产中， HAZOP 能够完整地对
个系统进行安全 ，不仅 性 ，而且还包括
量评估。除此之外，对于 的 偏差，该
也 好的 性， 于降低集成电路生产风险。
参考文献
［1］ 张艳辉，陈晓春.改进的HAZOP风险评价方法［J*. 中国安
全生产科学技术，2011，7(7)17417&amp;amp;
［2］ 李惠军，现代集成电路制造工艺原理［M*. 第1版，济南：
山东大学出版社，2007.
［3］ 史小波，集成电路制造工艺［M*. 第3版，北京：电子工业
出 ， 2009
［4］ 杨之廉.超大规模集成电路设计与方法学导论［M*. 北京：
清华大学出版社，1999.
［5］ 上海新创达智能科技有限公司.AMHS在集成电路产业的
发展趋势分析［J］.电子工业专用设备，2018，47(3)：4-6.
usingevolutionaryneuralnetwork[J] InternationalJournal
ofComputerAppli-cations 2013 75(10)： 13-17
[11] YLi JWang The load forecasting modelbased onbayesgrnn[
J] JournalofSoftware 2012 7(6)：1273-1280
[12] C N Ko C M Lee Short-termloadforecastingusingsvr
(supportvectorregression)-basedradialbasisfunctionneuralnetwork
withdualextendedkalmanfilter[J] Energy
2013 49： 413-422
2019 | 18期 | 175

网友评论 more

电力安全论文最新内容

09-05