1、高纯氩气和氮气应存放在阴凉、通风处，每次安装好减压阀之后，必须进行检漏，保证气体无泄漏；

　　2、工作前，先检查电源线路及气源管路完好。开启仪器，应先开气源，再开循环水，最后开高频电源,关闭仪器按相反的步骤进行；

　　3、点燃等离子体之前，必须先打开通风系统，同时确保炬室门关闭，琐扣完全到位；

　　4、打开炬室门之前，必须关闭等离子体；等离子体至少关闭5分钟之后，才可以进行炬室部分的处理工作；

　　5、工作结束后，必须关闭高频开关。