1、驾驶人员、押运人员必须经过专门培训，持证上岗，严格遵守操作规程。
2、装车前，先检查车况和排气管的阻火装置，保证车况和排气管的阻火装置良好。
3、作业人员戴化学安全防护眼镜，戴防化学品手套。
4、装车时，必须将静电接地装置连好，保持车辆周围干燥。
5、装车过程中，严禁吸烟等明火，密切注意装油情况，防止三氯硅烷溢出。
6、装车后，必须对车辆密封，防止运输过程中抛洒。
6、卸车时，必须将静电接地装置连好，严禁吸烟等明火，将管道捆绑牢固，防止管道脱落，造成三氯硅烷外泄。
7、运输时，运输车辆应配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备；运输过程中，应防曝晒、雨淋，防高温；中途停留时应远离火种、热源
8、身上沾上三氯硅烷，用大量清水冲洗。