本标准规定了常规分析中一种评估X射线光电子能谱仪强度标的重复性和一致性的方法,采用非单色Al/Mg或单色AlX射线源。本标准只适用于装有溅射离子枪的仪器。本标准不做强度/能量响应函数的校准。此校准应由仪器制造厂家或其他合格机构完成。本标准提供的数据用于评估和确认仪器使用期间强度/能量响应函数保持恒定的准确度。本标准提供了一些可能会影响一致性的仪器设置指导意见。