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纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法

标 准 号: GB/T 36969-2018
替代情况:
发布单位: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位: 上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心
发布日期: 2018-12-28
实施日期: 2018-12-28
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更新日期: 2019年05月06日
内容摘要

本标准规定了使用原子力显微术(AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。

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