本标准规定对仪器化纳米压入试验用仪器的能力要求和试验的基本方法，还规定了对仪器校准和检验、压头、标准样品的要求，以及仪器柔度和压头面积函数的确定方法，并给出了确定硬度和材料参数所需的数据分析方法和压头使用的注意事项。
本标准适用于测试各种体材料和薄膜的硬度、模量等，其压入深度范围通常在纳米量级，也可以扩展至几微米。