本文件规定了使用临界流锐孔系统动态制备校准用混合气体的方法。校准用混合气体至少包括由纯气或预混合气体组成的两种气体（其中之一通常为补充气）。
本文件规定的方法主要适用于制备不与临界流锐孔系统或辅助设备中的气体管路材质发生反应的混合气体。使用合适数量的临界流锐孔时，可制备多组分混合气体。
选用合适的临界流锐孔组合，稀释比可达到1×104。
尽管本文件规定的方法通常应用于制备大气压条件下的混合气体， 但本文件规定的方法也能用于制备压力超过大气压的校准用混合气体。使用本文件规定的方法，上游气体压力需至少比下游气体压力高两倍。
本文件适用的流量范围为1 mL/min～10 L/min。