本部分规定了采用光腔衰荡光谱法测定气体中微量水分的术语和定义、方法原理、对仪器的一般要求、试验步骤、结果处理和报告。
本部分适用于含量的体积分数为0.2×10-9~20×10-6的气体中水分的测定。不适用于硅烷等遇光照易分解及含有对水的吸收光谱有干扰的组分的气体中水分的测定。