本文件规定了聚焦离子束法制备透射电镜试样的仪器设备、环境与样品要求、试样制备和试验记录。
本文件适用于金属材料，半导体、矿物等无机非金属材料及高分子材料等固态材料的透射电镜试样制备。
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