纳米技术 碳纳米管探针扫描显微术 大深宽比微纳结构测量

本文件描述了利用碳纳米管探针测量大深宽比微纳结构的方法，包括基本原理、测试条件和所需设备等，规定了碳纳米管探针的参数范围和对样品的要求，确立了测量步骤。
本文件适用于硬质样品，且深宽比范围在1~10，最小水平线宽不小于碳纳米管直径2倍的微纳结构测量，其他样品的测量参照使用。