本文件规定了四氟化硅的技术要求采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求,描述了相应的试验方法。
本文件适用于以二氧化硅与氟化氢为原料制备或六氟硅酸钠分解制备或氟硅酸分解制备的四氟化硅。
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