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重掺半导体载流子浓度的红外反射测试方法

标 准 号： SJ 2757-1987
替代情况：
发布单位： 电子工业部
起草单位： 电子工业部标准研究所
发布日期： 1987-02-10
实施日期： 1987-10-01
点 击 数：
更新日期： 2022年03月06日
内容摘要

本标准适用于测量重掺半导体体材料载流子浓度，也适用于测量外延层、埋层和扩散层的载流子浓度。


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