本标准规定了应用电子探针或者扫描电镜(SEM)的波谱仪(WDS),通过电子束与试样相互作用产生的X射线对试样微米尺度体积内的元素进行定量分析的要求。
内容包括:
———定量分析原理;
———本方法涉及的元素、质量分数和标准物质的一般范围;
———仪器的一般要求;
———有关试样制备、实验条件的选择、分析测量等的基本过程及报告。
本标准适用于电子束垂直入射,要求定量分析的块状试样表面平滑、均匀。对仪器和数据处理软件没有特殊的要求。使用者应该从仪器制造厂家获得仪器安装条件、详细的操作程序及仪器说明书。