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硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法

标 准 号: GB/T 28277-2012
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
起草单位: 北京大学、中机生产力促进中心、中国电子科技集团第十三研究所等
发布日期: 2012-05-11
实施日期: 2012-12-01
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更新日期: 2016年12月14日
内容摘要

本标准规定了硅基MEMS加工过程中所涉及的微小键合区域键合强度检测的要求和试验方法。
本标准适用于采用微电子工艺及相关微细加工技术制造的微小键合区的剪切和拉压强度测试。

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