本文件规定了光切显微镜的分类、基本参数和技术要求,描述了相应的试验方法,规定了检验规则、标志、包装、运输及贮存。
本文件适用于采用光切原理测量表面粗糙度、幅度参数轮廓最大高度(Rz)和轮廓单元的平均高度(Rc)的光切显微镜的制造。
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