本文件规定了重结晶碳化硅板的产品分类和技术要求,描述了相应的试验方法,规定了检验规则、包装、标志、运输和贮存。
本文件适用于氧化气氛下使用温度不超过1650℃,且还原气氛下使用温度不超过1700℃注浆成型的重结晶碳化硅板的制造。
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