微束分析 金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法

本文件描述了用扫描电镜测量各类金制品中金覆盖层厚度的方法。
本文件适用于25 nm~50μm 的金覆盖层厚度的测定。其他厚度金覆盖层的测量参照执行。
注:实际可测量的最小厚度受扫描电镜的图像分辨率、放大倍数等设备性能参数以及试样制备技术、导电性等影响。