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本标准规定了半导体器件制备中用作检验和工艺控制的硅单晶试验片的技术要求。 本标准涵盖尺寸规格、结晶取向及表面缺陷等特性要求。本标准涉及了50.8mm~300mm 所有标准直径的硅抛光试验片技术要求。 对于更高要求的硅单晶抛光片规格,如:颗粒测试硅片、光刻分辨率试验用硅片以…

本标准规定了直径300mm、p型、<100>晶向、电阻率0.5Ω·cm~20Ω·cm 硅单晶的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于由直拉法制备的硅单晶,主要用于制作满足集成电路IC用线宽0.13μm 及以下技术需求的300mm 硅单晶抛光片。

本标准提供了硅片表面粗糙度测量常用的轮廓仪、干涉仪、散射仪三类方法的测量原理、测量设备和程序,并规定了硅片表面局部或整个区域的标准扫描位置图形及粗糙度缩写定义。 本标准适用于平坦硅片表面的粗糙度测量;也可用于其他类型的平坦晶片材料,但不适用于晶片边缘区域的粗糙…

本标准规定了直径300mm、p型、<100>晶向、电阻率0.5Ω·cm~20Ω·cm 规格的硅单晶抛光片的术语和定义、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于直径300mm 直拉单晶磨削片经双面抛光制备的硅单晶抛光片,产品主要用于满足集成电路IC用线宽90nm …

本标准规定了直径300mm、p型、<100>晶向、电阻率0.5Ω·cm~20Ω·cm 的硅单晶切割片和磨削片(简称硅片)产品的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于直径300mm 直拉单晶经切割、磨削制备的圆形硅片,产品将进一步加工成抛光片,用…

本文件规定了蚀刻铜及铜合金带箔材的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。 本文件适用于蚀刻铜及铜合金带箔材。

本文件规定了贵金属废催化剂的危险特性及包装类别、包装的基本要求、包装方式及规格、包装容器的性能要求、包装封口的技术要求以及包装标志。 本文件适用于贵金属废催化剂中的炭载体废催化剂、氧化铝载体废催化剂、氧化铝-二氧化硅载体废催化剂、汽车尾气净化废催化剂和均相废…

本文件规定了含砷烟灰砷资源综合回收的总体要求、工艺要求、主要设备要求和检测。 本文件适用于有色重金属冶炼企业火法冶炼过程中产生的含砷烟灰中砷及铜、铅、锌、锡、锑、铋等有价元素的综合回收。

本文件规定了再生氧化铝原料的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量证明书和订货单（或合同）内容。 本文件适用于采用铝灰、渣等工业废弃物生产的再生氧化铝原料，可用于生产冶金级氧化铝、氢氧化铝、精细氧化铝、耐火材料和净水剂等。 　

本文件规定了铝箔行业绿色工厂评价的总则、评价要求、评价程序及评价报告。 本文件适用于铝箔行业绿色工厂的评价。 本文件不适用于经表面处理的铝箔和钎焊箔。

本文件规定了硫酸银的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。 本文件适用于工业及化学试剂用硫酸银。

本文件规定了氧化银的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。 本文件适用于动力电池、化学工业、电子浆料及化学试剂用的氧化银。

本文件给出了变形铝及铝合金熔体渣含量的离线检测方法。 本文件适用于变形铝及铝合金铸锭、铸轧或连铸连轧带、熔融态铝及铝合金中夹杂物的种类及含量的测定。

本文件描述了变形铝及铝合金熔体在线渣含量检测的方法。 本文件适用于变形铝及铝合金熔体中夹杂物的尺寸及数量的在线测量。

本文件规定了黄铜熔铸副产品铜锌富集物的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。 本文件适用于黄铜熔铸过程产生的，经综合处理后，得到的供化工或冶金等用的铜锌富集物。

本文件规定了铜熔炼渣中铜、铁、硫、二氧化硅、砷、铅、锌、锑、铋、镍、氧化钙和氧化镁含量的测定方法。 本文件适用于铜熔炼渣中铜、铁、硫、二氧化硅、砷、铅、锌、锑、铋、镍、氧化钙和氧化镁含量的测定。

本文件规定了碘化银的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。 本文件适用于工业及化学试剂用碘化银。

本文件规定了铜合金护套带材的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。 本文件适用于铁路、城市轨道交通等领域用铜合金护套带材。

本文件描述了蚀刻分条法检验铜及铜合金板带箔材残余应力的原理、测量仪器、设备及工具、试样、试验步骤、检验结果表示和试验报告。 本文件适用于厚度0.08mm～1.0mm的铜及铜合金板带箔材残余应力的检验。

本文件规定了氯化银的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。 本文件适用于工业及化学试剂用氯化银。

本文件规定了废旧电力设备中有色金属回收的总体要求、技术要求、环境保护要求。 本文件适用于废旧电力设备中有色金属的回收。钢铁的回收也可参考执行。

本文件规定了有色金属矿山企业能源管理中心的基本要求、数据及网络安全和运行维护。 本文件适用于有色金属矿山企业的能源管理中心，包括计量系统、数据采集系统、基础能源管理系统、综合管理系统和运行维护。 　

本文件规定了银镍石墨中镍含量的测定方法。 本文件适用于银镍石墨中镍含量的测定。测定范围为5.00%～35.00%。

本文件规定了银镍石墨中银含量的测定方法。 本文件适用于银镍石墨中银含量的测定。测定范围为60.00%～90.00%。

本文件规定了变形铝铸锭行业绿色工厂评价的总则、评价要求、评价程序及评价报告。 本文件适用于变形铝铸锭行业绿色工厂评价。

本文件描述了锡及锡合金中合金元素及杂质元素含量的光电直读光谱分析方法。 本文件适用于锡及锡合金中砷、铁、铜、铅、铋、锑、镉、锌、铝、银、镍、钴等12个元素含量的测定。

本文件规定了银镍石墨中总碳含量的测定方法。 本文件适用于银镍石墨中总碳含量的测定。测定范围为1.00%～6.00%。

本标准还给出在通常测试中本实验方法所允许的偏离以及其他具体限定。

本标准给出了硅多晶、硅单晶、硅片和硅外延片等硅材料的各种原生缺陷及其密切相关诱生缺陷的术语及其形貌特征图谱。分析了其产生的原因和消除方法。 本标准适用于硅多晶、硅单晶、硅片和硅外延片等硅材料生产研究中各种缺陷的检验。硅器件、集成电路的生产研究也可参考本标准。

本文件规定了烧结台车的主要结构、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。 本文件适用于带式烧结机用的烧结台车。