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氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法

标准号： GB/T 32189-2015

替代情况：

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司

发布日期： 2015-12-10

实施日期： 2016-11-01

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更新日期： 2017年04月03日

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内容摘要

本标准规定了用原子力显微镜测试氮化镓单晶衬底表面粗糙度的方法。
本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的表面粗糙度小于10nm 的氮化镓单晶衬底。其他具有相似表面结构的半导体单晶衬底应用本标准提供的方法进行测试前,需经测试双方协商达成一致。

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