本标准适用于非本征单晶半导体材料样品或相同导电类型重掺衬底上沉积已知电阻率的同质外延层中的少数载流子扩散长度的测量。要求样品或外延层厚度大于4倍的扩散长度。 本标准修改采用SEMI MF 391-1106《非本征半导体中少数载流子扩散长度的稳态表面光电压测试方法》。
本标准与SEMI MF 391-1106相比主要有如下变化：
———标准格式按GB/T 1.1要求编排；
———将SEMI MF 391-1106中的部分注转换为正文；
———将SEMI MF 391-1106中部分内容进行了编排。