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确定晶片坐标系规范

标 准 号： GB/T 16596-2019
替代情况：
发布单位： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位： 有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司、浙江海纳半导体有限公司
发布日期： 2019-03-25
实施日期： 2020-02-01
点 击 数：
更新日期： 2019年04月22日
下载地址：点击这里 443.33KB
下载点数：20点（VIP会员免费）
内容摘要

本标准规定了使用直角坐标和极坐标建立晶片正面坐标系、背面坐标系和三维坐标系的程序。本标准适用于有图形和无图形的晶片坐标系的建立。该坐标系用于确定和记录晶片上的缺陷、颗粒等测试结果的准确位置。

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