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硅抛光片表面颗粒测试方法

标 准 号： GB/T 19921-2018
替代情况： 替代 GB/T 19921-2005
发布单位： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位： 有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司等
发布日期： 2018-12-28
实施日期： 2019-07-01
点 击 数：
更新日期： 2019年04月24日
内容摘要

本标准规定了应用扫描表面检查系统对抛光片、外延片等镜面晶片表面的局部光散射体进行测试，对局部光散射体与延伸光散射体、散射光与反射光进行区分、识别和测试的方法。

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