本标准代替GB/T 15616-1995《金属及合金的电子探针定量分析方法》。
本标准规定了用电子探针对金属及合金的化学成分进行定量分析的方法。
本标准适用于金属和合金试样立方微米惊讶的微区成分分析，分析元素的范围11Na~92U。
本标准也适用于用配置了波谱仪的扫描电子显微镜对金属及合金做定量分析。
本标准与GB/T 15616-1995相比主要变化如下：
——在“范围”中删除了原“浓度在1%以上”的规定，增加“也适用于用配置了波谱仪的扫描电子显微镜对金属及合金做定量分析”的规定；
——增加了引用标准；
——部分术语按ISO 23833：2006进行了修改；
——增加第11章“结果报告”；
——删除了原标准附录A。