本标准描述了用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中III、V族杂质含量的方法。
本标准适用于硅单晶中的III、V族杂质铝（Al）、锑（Sb）、砷（As）、硼（B）、镓（Ga)、铟（In）和 磷（P）含量的测定，各元素的测定范围（以原子数计）为1.0×1010 cm-3～4.1×1014 cm-3。