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高纯四氯化硅中硼及金属杂质的化学光谱分析方法

标 准 号： SJ 2594-1985
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国电子工业部
起草单位： —
发布日期： 1985-07-31
实施日期： 1986-03-01
点 击 数：
更新日期： 2022年06月11日
内容摘要

本标准方法适用于测定高纯四氯化硅中硼及金属杂质含量。


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