硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法

本文件描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。本文件适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×10??20? cm??-3?（0.2%）的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1×10??14? cm??-3?。注： 硅单晶中氮含量以每立方厘米中的原子数计。