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电子级多晶硅

标 准 号: GB/T 12963-2022
替代情况: 替代 GB/T 12963-2014
发布单位: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位: 麦斯克电子材料股份有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司等
发布日期: 2022-12-30
实施日期: 2023-07-01
点 击 数:
更新日期: 2023年02月26日
内容摘要

本文件规定了电子级多晶硅的牌号和类别、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。本文件适用于以氯硅烷、硅烷制得的电子级多晶硅(以下简称“多晶硅”)。

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