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碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法

标 准 号： YS/T 1600-2023
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位： 国合通用测试评价认证股份公司 等
发布日期： 2023-04-21
实施日期： 2023-11-01
点 击 数：
更新日期： 2024年10月07日
内容摘要

本文件规定了碳化硅单晶中杂质元素含量的辉光放电质谱测定方法。
本文件适用于碳化硅单晶中杂质元素含量的测定。

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