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300mm硅片表面纳米形貌的评价方法

标 准 号: GB/T 47906-2026
替代情况:
发布单位: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位: 上海超硅半导体股份有限公司、深圳中科飞测科技股份有限公司、郑州合晶硅材料有限公司等
发布日期: 2026-07-02
实施日期: 2027-02-01
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更新日期: 2026年07月29日
下载地址:点击这里 1.05 MB
下载点数:30点(VIP会员免费)
内容摘要

本文件描述了300 mm硅片表面0.2 mm~20 mm空间波长范围内的纳米形貌(NT)评价方法。
本文件适用于硅抛光片、硅外延片、绝缘体上硅(SOI)片等300 mm无图形硅片的评价。

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