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硅片流动图形缺陷的检测 腐蚀法

标 准 号： GB/T 43315-2023
替代情况：
发布单位： 中国标准出版厦门万明电子有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、麦克斯电子材料股份有限公司、浙江旭盛电子有限公司社
起草单位： 厦门万明电子有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、麦克斯电子材料股份有限公司、浙江旭盛电子有限公司
发布日期： 2023-11-27
实施日期： 2024-06-01
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更新日期： 2026年08月27日
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内容摘要

本文件规定了化学腐蚀后用金相显微镜检测硅片流动图形缺陷的方法。
本文件适用于电阻率大于1 Ω·cm的硅片流动图形缺陷的检测。

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