本文件描述了硅外延用三氯氢硅中锂、硼、钠、镁、铝、钾、钙、磷、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、钼、砷、铅等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法。
本文件适用于硅外延用三氯氢硅中杂质元素含量的测定。各元素测定范围见表1。
硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 …铜精矿化学分析方法 第16部分：二氧…金属材料 微试样力学试验 取样和试样…重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测…调质曲轴用热轧钢棒锻件用结构钢棒合金结构钢钢板和钢带弹簧钢
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