本文件规定了蓝宝石单晶衬底抛光片（以下简称“蓝宝石衬底片”)的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。
本文件适用于直径不大于200 mm的蓝宝石衬底片。产品主要用于外延生长半导体薄膜、生产蓝宝石图形化衬底、蓝宝石键合衬底等。
蓝宝石单晶衬底抛光片金属铬 硅含量的测定 高氯酸脱水重量…硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 …铜精矿化学分析方法 第16部分：二氧…金属材料 微试样力学试验 取样和试样…重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的测…调质曲轴用热轧钢棒锻件用结构钢棒
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