本标准规定了电子特气气瓶更换操作的术语和定义、相关技术要求、操作流程等内容。本标准适用于半导体、LED、微电子、光伏太阳能等行业中进行SiH4、Cl2、BCl3、SF6、CHF3、NH3等电子特气气瓶的更换操作。其它行业或其它特种气体气瓶的更换可参照本规范执行。