本文件规定了半绝缘型碳化硅（SiC）单晶衬底的术语、分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。
本文件适用于经抛光后制备的Φ50.8 mm，Φ76.2 mm，Φ100.0mm，Φ150.0 mm 半绝缘型 SiC 衬底，晶型为 4H。