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光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法

标 准 号： SJ/T 31080-2016
替代情况： 替代 SJ/T 31080-1994
发布单位： 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位： 中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会 等
发布日期： 2016-01-15
实施日期： 2016-06-01
点 击 数：
更新日期： 2023年12月07日
内容摘要

规定了光掩模制作用图形发生器的完好要求和检查评定方法.

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