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本标准规定了低压化学气相淀积(LPCVD)设备的技术术语及薄膜厚度（以下简称膜厚）均匀性的计算公式、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及包装、运输、贮存等方面的要求。

本标准规定了电子束曝光机（以下简称曝光机）的术语、技术要求、试验方法、检验规则等。

本标准规定了平行绕线机的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存要求。

本标准规定了四探针探头（以下简称探头）的术语、技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求等。本标准适用于电子和冶金等行业所使用的四探针法测试半导体棒、片、薄层以及金属薄层的电阻率、薄层电阻的电阴的探头。本标准与SJ/T 10314《直流四探针电阻率测试仪…

本标准规定了空间电荷控制大功率发射管（以下简称电子管）的使用和维护等有关规则。

本标准规定了负荷开关用真空开关管的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存等。

本标准规定了负荷开关用陶瓷真空开关管详细规范（以下简称“详细规范”）采用的格式和包含的内容。

本标准规定了压电陶瓷点火器的性能测试方法。 本标准适用于燃气器具引燃用压电陶瓷点火器性能的测试。

本标准适用于金属膜固定电阻器用陶瓷基体，亦适用于金属氧化膜固定电阻器用陶瓷基体。

本标准适用于精冲模活动凸模式典型组合座入式典型组合。

本标准适用于精冲模固定凸模式典型组合方形模板典型组合。

本标准适用于精冲模固定凸模式典型组合方形模板典型组合。

本标准适用于精冲模活动凸模式典型组合座入式典型组合。

本标准适用于精冲模活动凸模式典型组合平放式圆形模板典型组合。

本标准规定了梢冲模零件的技术要求、检测方法、检验规则、标记、包装、运输和贮存. 本标准适用于精冲模零件的生产和验收(含通用模架零件及模芯)。

本标准适用于精冲模活动凸模式滑动导向模架座入式对角导柱模架。

本标准适用于精冲模活动凸模式滑动导向模架座入式对角导柱模架。

本标准适用于精冲模活动凸模式滑动导向模架平放式对角导柱模架。

本标准适用于精冲模活动凸模式滑动导向模架平放式对角导柱模架。

本标准适用于精冲模固定凸模式滑动导向模架对角导柱模架。

本标准适用于精冲模固定凸模式滑动导向模架对角导柱模架。

本标准适用于精冲模固定凸模式滑动导向模架中间导柱模架。

本标准适用于精冲模固定凸模式滑动导向模架中间导柱模架。

本标准适用于精冲模固定凸模式滑动导向模架中间导柱模架。

本标准适用于精冲模固定凸模式滑动导向模架中间导柱模架。

本标准适用于精冲模活动凸模式滚动导向模架座入式对角导柱模架。

本标准适用于精冲模活动凸模式滚动导向模架座入式对角导柱模架。

本标准适用于精冲模活动凸模式滚动导向模架平放式对角导柱模架。

本标准适用于精冲模活动凸模式滚动导向模架平放式对角导柱模架。

本标准适用于精冲模固定凸模式滚动导向模架对角导柱模架。