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洁净室及相关受控环境 第15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性

标 准 号: GB/T 25915.15-2022
替代情况:
发布单位: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位: 中国标准化协会、江苏富泰净化科技股份有限公司、天津大学、中国建筑科学研究院有限公司等
发布日期: 2022-12-30
实施日期: 2023-07-01
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更新日期: 2023年04月17日
内容摘要

本文件规定了评定洁净室及相关受控环境中设备和材料的适用性要求,提供了指南。
本文件不适用于以下内容:健康和安全要求,清洁剂及清洁技术的相容性,清洁性,生物污染,工艺和产品对设备和材料的特定要求,设备的设计细节。

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