本标准规定了氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷含量的气相色谱质谱联用的测定方法。
本标准适用于氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷含量的测定。氯硅烷中三氯氧磷的测定范围为0.3 μg/kg～100 μg/kg，三氯化磷的测定范围为3 μg/kg～100 μg/kg。