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半导体车间金属粉尘智能检测分析系统

标 准 号： T/QGCML 3970-2024
替代情况：
发布单位： 全国城市工业品贸易中心联合会
起草单位： 凌凯电子科技（湖北）有限公司、武汉羚动设备有限公司、湖北鸿阳企业服务有 限公司
发布日期： 2024-03-28
实施日期： 2024-04-11
点 击 数：
更新日期： 2024年04月03日
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下载点数：30点（VIP会员免费）
内容摘要

本文件规定了半导体车间金属粉尘智能检测分析系统的术语和定义、基本要求、运行环境及功能、模块功能、运行测试。


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