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异质结电池用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备

标 准 号： T/CPIA 0065-2024
替代情况：
发布单位： 中国光伏行业协会
起草单位： 中国电子技术标准化研究院、理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司、隆 基绿能科技股份有限公司
发布日期： 2024-03-10
实施日期： 2024-03-15
点 击 数：
更新日期： 2024年07月19日
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内容摘要

本文件规定了本征薄膜异质结电池用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备（以下简称“PECVD设备”）的术语和定义、工作环境、设备要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。


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