1、每周至少检查真空泵油面高度一次，当油的液面高度处于最高和中间时，泵具有最佳的性能和使用寿命。如果油位过低，就应考虑补加ARL专用真空油，如果真空度读数过高或者油面比较混浊、较黑时，就应考虑更换真空油了。加油或更换油时请与ARL工程师联系进行指导，防止操作不当造成真空油倒抽。
2、位于仪器后部的风扇滤尘器，应至少每月清理一次。
3、每分析200个样品后要对激发台火花室部分进行清理。
4、做样每打点一次用钢丝刷刷电极并用脱脂棉擦试积碳，不得打重叠点。
5、操作不得用湿手。
6、使用过程中出现异常，要停止使用，并通知维修人员进行修理。