电光调制器用铌酸锂单晶薄膜

本文件规定了电光调制器用铌酸锂单晶薄膜的要求、检查与检验规则、包装、标签/标志、储存和运输要求，描述了检测方法。
本文件适用于铌酸锂薄膜层厚度为100 nm~1 000 nm，直径为76.2 mm、100.0 mm、150.0 mm和200.0 mm，X切向的电光调制器用同成分铌酸锂单晶薄膜，其他规格的铌酸锂单晶薄膜参照执行。