本标准规定了辉光放电发射光谱法测定材料表层薄膜的厚度、质量（单位面积）和化学成分的方法。?本标准仅限于辉光放电发射光谱法深度剖析定量化通用规程的描述，并不能直接应用于具有不同厚度和元素的待测个体材料的定量化。?注： 任何一个针对测试材料表面分析的标准均需要明确表层厚度和分析元素，并提供实验室间共同实验结果以确认方法的有效性。