电子工业用气体 六氟化钨

本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。
本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。
分子式:WF6。
分子量:297.8304192(按2009年国际相对原子质量计算)。