本部分规定了纳米科技在纳米制造过程中的相关术语和定义，是 覆盖纳米科技不同方面的术语和定 义中的一部分。 本部分的术语均与纳米制造相关，有些过程可能并不局限于纳米尺度，根据可控条件,这些过程会 导致材料的特性在纳米尺度甚至更大尺度。本部分不包括其他术语如工具、组件、材料，以及与纳米制 造相关的系统控制方法或计量方法
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