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微机电系统（MEMS）技术硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法

标准号： GB/T 42895-2023

替代情况：

发布单位：国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

起草单位：北京大学、中机生产力促进中心有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京燕东微电子科技有限公司等

发布日期： 2023-08-06

实施日期： 2023-12-01

点击数：

更新日期： 2023年09月24日

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内容摘要

本文件描述了硅基MEMS加工所涉及的微结构弯曲强度原位试验的要求和试验方法。
本文件适用于采用微电子工艺制造的微结构弯曲强度测试。

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微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法

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