静电放电靶校准规范

本规范适用于静电放电靶-衰减器-电缆组成的静电放电模拟器放电电流测量链路的校准。
静电放电靶用于校准静电放电模拟器的放电电流，靶面由内电极、环形绝缘间隙和接地结构三部分组成，靶内部由大约25个电阻值为51Ω的电阻并联于内电极和接地结构之间，使静电放电靶的内电极和接地结构之间的直流阻抗不大于2.1Ω。