功率半导体器件老化系统校准规范

本规范适用于直流电压≤4500V，直流电流≤200A的功率半导体器件老化系统（以下简称老化系统）的校准，功率半导体器件老化系统覆盖环境应力、直流功率应力等，常见设备包括：高温反偏老化系统、高低温老化测试系统、大功率（含微波）晶体管老化系统、高温高湿反偏老化系统、大功率晶体管老化系统、电容器高温老化系统等各种常见半导体器件/元件老化系统，其他元器件老化系统可参考进行校准。