四探针探头通用技术条件

本标准规定了四探针探头（以下简称探头）的术语、技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存要求等。本标准适用于电子和冶金等行业所使用的四探针法测试半导体棒、片、薄层以及金属薄层的电阻率、薄层电阻的电阴的探头。本标准与SJ/T 10314《直流四探针电阻率测试仪通用技术条件》标准配套使用。