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微机电系统（MEMS）技术　微机械量评定总则

标准号： GB/T 26112-2010

替代情况：

发布单位：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

起草单位：天津大学、中机生产力促进中心、西安交通大学、大连理工大学、太原理工大学、中原工学院

发布日期： 2011-01-10

实施日期： 2011-10-01

点击数：

更新日期： 2025年12月26日

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内容摘要

本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。
本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。

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